[行业动态] 原子级制造纳入未来产业，超精密加工机械支撑芯片高端制造

2026年07月13日

来源：编辑部

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原子级制造对机床运动精度、温控、振动抑制提出纳米级要求，国内机床企业推出超精密五轴研磨机、纳米级抛光设备，配套自研高精度光栅尺、恒温控制系统，可完成晶圆载具、光刻机内部核心结构件加工。设备搭载工业智能体实时补偿微米级误差，零部件加工良率大幅提升。

各地搭建原子级制造公共验证平台，联合中科院、高校开展产学研协同攻关，对高端超精密机床研发项目给予千万级专项补助。半导体扩产浪潮持续拉动超精密机械订单，大量精密机械厂切入芯片设备供应链，摆脱低端同质化竞争，打开高端高附加值市场空间。

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