[技术前沿] 通用技术国测时栅:纳米时栅技术突破,助力高端装备自主可控
近日,在第 26 届立嘉国际智能装备展览会上,通用技术集团国测时栅科技有限公司举办客户开放日活动,集中展示纳米时栅位移测量技术最新成果及在高端装备领域的应用,引发行业广泛关注。纳米时栅是我国自主原创、国际领先的精密位移测量技术,打破了国外在高精度光栅、磁栅领域的长期垄断,为我国高端数控机床、半导体装备、工业机器人等领域自主可控提供核心支撑。
时栅技术原理是利用时间测量空间,通过电场 / 磁场周期性变化,将空间位移转化为时间差进行测量,具备高精度、高可靠性、抗干扰强、成本低等优势。国测时栅研发的纳米级时栅传感器,测量精度达±5 纳米,分辨率 1 纳米,可完全替代进口高精度光栅尺,价格仅为进口产品的40%–50%,已成功应用于五轴联动数控机床、高端加工中心、精密检测设备、半导体光刻机、工业机器人等领域,累计配套国产高端装备超 10 万台套。
在高端数控机床领域,华中数控、科德数控、海天精工等国产五轴机床已批量配套国测时栅纳米传感器,定位精度、重复定位精度达到国际一流水平,助力国产高端机床打破技术壁垒,加速进口替代。在半导体装备领域,时栅技术已应用于光刻机、刻蚀机、检测设备等精密运动平台,解决了 “卡脖子” 的精密测量难题,支撑半导体装备国产化进程。
通用技术国测时栅负责人表示,未来将持续加大研发投入,聚焦更高精度、更小体积、智能化、集成化方向,拓展在航空航天、新能源汽车、医疗设备、智能装备等领域应用,打造全球领先的精密测量民族品牌,为我国高端装备制造业自主可控、高质量发展贡献核心力量。
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